微透镜阵列

微透镜阵列由光学孔径为微米级、后处理槽深度为纳米级的透镜组成。它具有聚焦和成像的基本功能。单元体积小，集成度高，可以完成传统光学元件无法完成的功能，可以构成许多新的光学系统。主要用于 Shack-Hartmann 波前传感、红外焦平面检测或 CCD 阵列聚光、激光阵列扫描、激光显示、光纤耦合等系统。

微透镜阵列是由许多形状相同的微米尺寸小透镜按一定规律排列而成的阵列，多数是按正方形排列。透镜阵列标准品包含正方形微透镜和六边形微透镜，子单元尺寸32μm-1500μm，焦距在0.8mm-50mm之间，微透镜阵列一般应用在高灵敏度成像、激光匀化、分束、波前传感、光束聚焦和准直等领域。微透镜又可以称为复眼透镜，Micro Lens Array。

微透镜阵列是由许多形状相同的微米尺寸小透镜按一定规律排列而成的阵列，小透镜的形状可以是圆形，正方形，六边形，四方形或是其他形状，它们大都按照正方形网格状排列，也可以按照六边形或是其他形状排列。微透镜的特点是小型化、集成化、设计自由度大。它能实现激光匀化、分束和光束聚焦、高灵敏度成像、准直、波前传感等功能。一般应用于高灵敏度成像，光纤耦合通讯，激光美容，激光加工及探测等方面。

我司最近就微透镜阵列进行了一次大更新。更多规格参数可选，更多的库存，更好的满足客户的需求。上百的微透镜标准品，总有一款符合您的需求。如果不符合，我司也有相应的定制服务（不提供设计）。

这次更新，大大地扩充了我们的微透镜标准品。子单元尺寸从32μm-1.5mm不等。形状有正方形、圆形、六边形（以正方形为主）。材质多为石英玻璃。在镀膜方面，也有已镀膜的标准品可供选择（Cr膜、AsCr膜，Ar膜等）。如果您需要的标准品没有镀膜型，我们也可以额外提供镀膜服务。

微透镜阵列的主要参数：

1. 微透镜的尺寸、材质
2. 微透镜的形状：柱透镜、球面镜、非球面透镜、非柱面透镜、像散透镜
3. 微透镜的排布：正方形阵列、六边形排布、啁啾排布，随机排布等各种排布
4. 微透镜的周期（子单元口径）、焦距、刻蚀深度（高度）、曲率半径
5. 面形：对于衍射元件，一般有连续面型和非连续面形（台阶型）两种结构，连续面型可实现消除色差，适用于宽波段系统成像、螺旋相位片等应用

而对于以上参数，我们都可以提供定制。

微透镜阵列的加工能力，定制能力

多年的沉淀，让我们在掩膜板、刻蚀、微光学元件的面型工艺上积累了非常丰富的经验，通过标准化的设计、加工流程，通常只要一个月时间就可以让用户获得效果满意的定制产品。

1. 微透镜的波段范围覆盖190nm~10600nm的范围，匹配各种常用激光器的波长。
2. 不仅能够加工2~32台阶的台阶型微透镜，也能加工各种连续面型的微透镜。目前2台阶、4台阶、8台阶、16台阶和32台阶的工艺都已经非常成熟，衍射效率可以做到95%。对于连续面型结构，我们可以做到数值孔径：0.01~0.5，面形误差：<2%。
3. 每个微小透镜/子单元的尺寸最小可以做到1um，通常在1~5000um，形状可以为圆形、正方形、长方形、六边形或其它用户指定的形状。
4. 微透镜的材料一般选择玻璃、石英、锗、硒化锌（ZnSe）、硅、K9、氟化钙或PMMA等塑料材料。

微透镜阵列标准品的规格：

命名规则：

       ML- (子单元形状)-(子单元尺寸)-F(焦距)

       ML: Micro Lens

       排列形状/子单元形状：S正方形，H六边形

       子单元尺寸：单位μm

       焦距：单位mm

例如：ML-S32-F0.08，为正方形32×32μm子单元作正方形排列，焦距0.08mm的微透镜阵列

标准品手册（部分）：

ML系列微透镜阵列是高性价比微透镜阵列产品线。主要用于医疗美容（点阵激光或匀化）、夏克-哈特曼传感器、高灵敏度成像和波前传感等领域。ML系列产品的表面局部会有一些坏点，面型精度一般只能达到±3%~±5%。

MLA、MLA1和CLA、CLA1系列是高端的进口微透镜阵列产品线。MLA、MLA1和CLA、CLA1系列微透镜阵列具有更好的表面质量和面型精度，子口径80μm以上的产品可实现几乎无缺陷和坏点，可用于光束整形（激光匀化）、工业级光场相机等要求严格的场景。